埃米級電渦流位移傳感器SMU9000
基於獨特的脈衝寬度調製器，融合了最新的表面安裝組件和PCB設計。

滿足OEM對性價比的要求，並且能兼顧線性精度和熱穩定性。並可根據客戶需求定製。
特點：

超高分辨率，1埃

信噪音比：1PPM

精確度0.1%，通過計算機校準

小尺寸，易於集成；2通道小於5.5立方英吋

多種配置：9000單通道，9200雙或平衡差分操作，3和4通道模型。

豐富的傳感器選件

低功耗：<40mW/通道

主要指標：

使用於被測材料為鋁、銅等導電材料。SMU9000 單雙通道；SMU9200 為3～4通道

－分辨率1誒

－信號噪聲比小於0.1%

－量程：0～0.88mm/ 0～12mm

－線性可優化到0.1%

－頻響：0～10KHZ
 
典型應用：

光學平台位置測量

半導體和光器件的研磨

半導體模板對齊系統

蒸鍍系統

電子顯微鏡垂直軸定位

原子顯微鏡垂直軸定位

磁懸浮軸控制

部件研磨加工的精確定位

鏡片控制

物質收縮測試測量

機械結構變形探測與測試

應用舉例：

半導體圓晶片和模板（刻線）檢測（凱盟的系統提供位置反饋信號將晶片或模板帶入初始焦點，光學系統隨後進行最終的聚焦。）

讀寫頭製造，研磨板定位（通過3個雙通道單端系統，監控讀寫頭相對研磨板的位置）

飛機製造：動態鉚釘高度檢測

高精度3通道照相平台位置測量

高精度照相平板台高度位置測量

來自www.51sensors.com 報道，郵箱 info@51sensors.com